光刻工艺后段，光刻胶固化。特点

　　工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

　　程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

　　快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

　　配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

　　全不锈钢材质。

　　在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。